【摘 要】
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MEMS工艺提供了在微小硅片上加工含有复杂功能集成系统的能力，由于其体积小、成本低、产量高等优势，近年来MEMS微传感器得到了迅速的发展，并为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战。本文系统地分析了制约电容式微麦克风高精度读出电路设计的主要因素，介绍了一种读出电路结构，并对其主要设计参数进行了分析对比。
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京,100190
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MEMS工艺提供了在微小硅片上加工含有复杂功能集成系统的能力，由于其体积小、成本低、产量高等优势，近年来MEMS微传感器得到了迅速的发展，并为后续集成化读出电路的设计提出了巨大挑战。本文系统地分析了制约电容式微麦克风高精度读出电路设计的主要因素，介绍了一种读出电路结构，并对其主要设计参数进行了分析对比。
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