【摘 要】
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与瑞利波模式相比,基于乐甫(Love)波声学模式的气体传感器在检测灵敏度方面具有突出优势,有着广阔的应用前景.本文利用传递矩阵理论对乐甫波气体传感器的敏感机理进行了理论
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京100190
【出 处】
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第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
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与瑞利波模式相比,基于乐甫(Love)波声学模式的气体传感器在检测灵敏度方面具有突出优势,有着广阔的应用前景.本文利用传递矩阵理论对乐甫波气体传感器的敏感机理进行了理论建模与分析.将由半无限大的压电基底层、声波导层以及敏感膜构成的乐甫波气体传感器视为多层结构体,确立压电基底层与敏感膜顶部之间的矩阵对应关系,由各层介质的物理参数得到传递矩阵,求解层状结构中声波频散特性及机电耦合特性,从而对乐甫波声学模式传感器具有更高灵敏度的敏感机理以及声波导效应进行理论解释.相对于常规采用的微扰理论,本文提出的传递矩阵理论分析方法与之相比更简单、准确,且易编程实现.通过上述敏感机理的准确认知为乐甫波气体传感器的优化设计提供了理论依据.
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