【摘 要】
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由于传统的声表面波(Rayleigh wave)谐振型器件的结构需要,在叉指换能器(IDT)的两边分布着大量的反射指条,从而使器件的尺寸比较大,而振动方向与基片表面平行的剪声表面波(SH SAW)透人基片较深,在工艺上比较容易实现基片自由端面的完全反射特性.因此,利用这一特性来代替传统的声表面波谐振器中的指条反射阵,能够实现小尺寸低插损的新型声表面波谐振型器件.本文根据以上原理设计并实现了超小型低
【机 构】
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南京大学声学研究所近代声学国家重点实验室(南京)
【出 处】
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中国声学学会2002年全国声学学术会议
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由于传统的声表面波(Rayleigh wave)谐振型器件的结构需要,在叉指换能器(IDT)的两边分布着大量的反射指条,从而使器件的尺寸比较大,而振动方向与基片表面平行的剪声表面波(SH SAW)透人基片较深,在工艺上比较容易实现基片自由端面的完全反射特性<[1][2]>.因此,利用这一特性来代替传统的声表面波谐振器中的指条反射阵,能够实现小尺寸低插损的新型声表面波谐振型器件.本文根据以上原理设计并实现了超小型低插损的纵向耦合(Longitudinally coupled)声表面波谐振滤波器.
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