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本文研究作为彩色等离子体显示器(PDP)中的介质保护膜,要求具有优良的二次电子发射性能,为此必须优选基底温度、氧分压强、沉积速率及膜层热处理温度等.
彩色PDP中MgO薄膜结构研究
【摘 要】
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本文研究作为彩色等离子体显示器(PDP)中的介质保护膜,要求具有优良的二次电子发射性能,为此必须优选基底温度、氧分压强、沉积速率及膜层热处理温度等.
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件研究所(西安)
【出 处】
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中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议
【发表日期】
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2002年期
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