【摘 要】
：
磁控和多弧镀膜技术已经受到越来越多的重视,其中硬质膜涂层近些年得到较大的发展.人们对于装置技术、涂层体系以及对工况的理解等均取得了较大进步.等离子体是镀膜的有效载体,无论是磁控还是多弧,都是在反应气体的参与下将靶材料转移到工件上,形成需要的膜层组成和结构.真空室内控制参数包括工作温度、工作气压、反应气体种类、工件偏压(DC或Pulse)、靶功率(或电流)、转架相关参数等.这其中,等离子体重要的考虑
【机 构】
：
哈尔滨工业大学 先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨 150001 哈尔滨工业大学 先进焊接
【出 处】
：
第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
论文部分内容阅读
磁控和多弧镀膜技术已经受到越来越多的重视,其中硬质膜涂层近些年得到较大的发展.人们对于装置技术、涂层体系以及对工况的理解等均取得了较大进步.等离子体是镀膜的有效载体,无论是磁控还是多弧,都是在反应气体的参与下将靶材料转移到工件上,形成需要的膜层组成和结构.真空室内控制参数包括工作温度、工作气压、反应气体种类、工件偏压(DC或Pulse)、靶功率(或电流)、转架相关参数等.这其中,等离子体重要的考虑因素,尤其是等离子体密度及其分布.一个好的等离子体控制可以有效提高膜层质量和拓宽工艺窗口.如多弧中的颗粒控制、磁控中的密度增强等等均会显著影响膜层质量和沉积速率.本文会介绍一些我们课题组研制的新型的等离子体增强放电模式、放电电源以及真空镀膜装置.如利用增强放电装置实现的高密度等离子体,获得了150um厚的超厚DLC.单纯TiN的硬度可以达到40GPa,结合力超过100N.利用增强的电弧放电使得CrAlTiN的表面大颗粒<1um,而且硬度和结合力非常好.利用新型的组合脉冲模式高功率磁控溅射,实现了高沉积速率和高离化率.相对于传统单脉冲高功率磁控溅射技术,预脉冲诱发高密度等离子体,维持脉冲可明显减弱对溅射靶材的回吸作用,沉积速率提高3倍以上.利用电磁场的复合增强,进一步增强了HiPIMS等离子体密度,实现了高致密性的膜层涂覆.本文将报道相关几种新型的电源、装置和涂层技术.
其他文献
非常规能源勘探(如超深部、致密岩、外太空等)开发技术的发展,高湿度、水润滑等极端工况下对具有低磨损、优异摩擦性能的聚晶金刚石(Polycrystalline Diamond,PCD)材料提出了更高和迫切的要求.许多研究已经报道了滑移界面间的摩擦化学反应严重影响着材料的摩擦磨损.本文考察了经高温高压烧结的聚晶金刚石在相对湿度(RH)为55％-85％以及水润滑条件下对磨氮化硅球时的摩擦学行为及性能.结
Recent studies have shown that interface tribochemistry, that is, the formation and breaking of chemical bonds across sliding interfaces, is closely related to the wear and friction behavior at the na
超音速等离子喷涂法制备PZT陶瓷涂层是生产PZT陶瓷元件的新方法,与传统工艺相比具有如下特点：厚度可控制在数十微米以下,使对厚度有特殊要求的领域压电陶瓷元件的应用成为可能；省去了应用过程中的粘贴环节,使压电陶瓷阵列的可靠性得到提高；大规模生产的效率较高,可大大提高陶瓷元件的生产效率.国内外有关超音速等离子喷涂PZT涂层的研究较少.本研究采用超音速等离子喷涂法在45钢片表面制备PZT(锆钛酸铅)陶瓷
随着外太空钻探、月壤的采集技术的不断发展,对真空钻具以及航天器零部件服役于真空下能够保持良好的摩擦学性能提出了更高的要求.对具有良好固体润滑性能的聚晶金刚石(Polycrystalline Diamond,PCD)材料在真空环境下的应用展现了迫切的期盼.已有许多研究报导了金刚石在真空下的摩擦性能主要由滑移界面间的物理化学变化以及微观特征影响.本文考察了经过退火热处理的PCD在真空环境下的摩擦学行为
In this paper,ultrasonic cold forging technology (UCFT),Micro-arc oxidation (MAO) process and Micro-arc oxidation (MAO) process with ultrasonic cold forging technology (UCFT) pretreatment has been car
再制造是废旧产品高技术修复、改造的产业化。其重要特征是再制造产品质量和性能不低于新品，有些还超过新品，成本只是新品的50％，节能60％，节材70％，对环境的不良影响显著降低，有力促进了资源节约型、环境友好型社会的建设。相比于国外的再制造，我国特色的再制造是在维修工程、表面工程基础上发展起来的，通过先进的表面工程技术，不仅准确恢复尺寸，而且显著提升性能，产学研相结合，既循环又经济，是国家生态文明建设
A global plasma model has been developed to describe the MPPMS discharge process based on the particle balance and the energy balance in the ionization region. In addition, considering the increased c
The graphite-ceramic containing titanium-Fe based alloy clad coatings were synthesized in situ on Q235 steel substrates by a reactive plasma cladding process using Fe901, Ti, h-BN and graphite (C) pow
Plastic deformation is a well-known process to improve the wear and fatigue resistance of a metal surface. Many processes are in use and a common characteristic is that the metal surface and subsurfac