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钨掺杂对Ge2Sb2Te5相变薄膜结晶机制影响的光谱学研究

来源 :第二十届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yeshen_001

【作 者】

：

郭爽 胡志高 纪兴龙 黄婷 吴良才 宋志棠 褚君浩 

【机 构】

：

华东师范大学信息科学技术学院电子工程系,上海,200241中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050

【出 处】

：

第二十届全国半导体物理学术会议

【发表日期】

：

2015年7期

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