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本文对射频MEMS器件研究的最新进展进行了论述。文章分别讨论了几种主要MEMS器件的包括开关、电感、电容、滤波器和谐振器、天线的特点及主要性能指标，并给出了由清华大学研制的几种重要的RFMEMS器件包括开关、电感、压控电容和相移器的测量结果。
射频MEMS器件研究进展
【摘 要】
：
本文对射频MEMS器件研究的最新进展进行了论述。文章分别讨论了几种主要MEMS器件的包括开关、电感、电容、滤波器和谐振器、天线的特点及主要性能指标，并给出了由清华大学
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,北京
【出 处】
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2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会
【发表日期】
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2005年期
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