【摘 要】
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本文以丙烯为碳源、多孔陶瓷为沉积基体,研究了在不同温度和不同浓度的氢气对热解炭化学气相沉积速率的影响。实验结果表明:以丙烯为气源热解炭在850～950℃之间发生化学气相沉
【机 构】
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中国科学院过程工程研究所 多相复杂系统国家重点实验室,北京 100080 航天材料及工艺研究所,北京 100076
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本文以丙烯为碳源、多孔陶瓷为沉积基体,研究了在不同温度和不同浓度的氢气对热解炭化学气相沉积速率的影响。实验结果表明:以丙烯为气源热解炭在850～950℃之间发生化学气相沉积的表观活化能△Ea约为345kJ/mol;氢气对沉积动力学的影响包含两个方面:在均气相反应中,少量的氢气加速了丙烯的裂解,使沉积速率有所提高,而大量氢气则有效地抑制芳香化合物的生成,降低了沉积速率;在表面反应中,氢原子能够在芳香碳平面边缘形成断裂能很高的C-H键,强烈地抑制热解炭的生成,热解炭沉积速率的倒数与氢气分压呈线性关系。
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