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三聚氰胺流量对DC-PCVD法氮掺杂金刚石膜生长特性影响

来源 :第十九届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：angwjif

【作 者】

：

吴春雷 郝国栋 朱瑞华 陈薇薇 孙霄霄 

【机 构】

：

牡丹江师范学院物理与电子工程学院,牡丹江157012 牡丹江师范学院化学化工学院,牡丹江15701

【出 处】

：

第十九届全国高技术陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2016年8期

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