【摘 要】
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离焦检测技术是激光直写设备的关键技术，直接决定激光直写设备的性能。临界角法离焦检焦是利用光波在临界角附近的反射特性来检测聚焦状态，它具有分辨力高、损失光能小、结构简
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所长春 130033 中国科学院研究生院北京 100039
【出 处】
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2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会
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离焦检测技术是激光直写设备的关键技术，直接决定激光直写设备的性能。临界角法离焦检焦是利用光波在临界角附近的反射特性来检测聚焦状态，它具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点，是亚微米级激光直写设备聚焦伺服系统离焦检测的首选方法之一。根据菲涅尔公式，并通过合理假设，利用高斯光学公式可以得到离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界角法，利用He-Ne激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡等元器件组成了离焦检测系统，实现了离焦信号的提取：通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号(FES)，以此获得了FES的大小和变化趋势与离焦量的关系曲线，为临界角法离焦检测系统的工程实现提供了参考。
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