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新型横向高压器件及其优化分析
新型横向高压器件及其优化分析
来源 :中国电子学会第四届青年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaochongcheng
【摘 要】
:
本文提出了一种新型的横向高压器件结构,并对其进行了耐压分析,结果表明,该结构具有与RESURF器件相媲美的击穿电压,并且工艺简单,受工艺参数波动的影响较小,相对于内场限环结构,其耐
【作 者】
:
李国政
罗晋生
唐本奇
耿斌
【机 构】
:
核技术研究所(西安)
【出 处】
:
中国电子学会第四届青年学术年会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
横向高压器件
器件耐压
器件结构
击穿电压
工艺参数
耐压高
环结构
电阻低
功率
波动
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本文提出了一种新型的横向高压器件结构,并对其进行了耐压分析,结果表明,该结构具有与RESURF器件相媲美的击穿电压,并且工艺简单,受工艺参数波动的影响较小,相对于内场限环结构,其耐压高且导通电阻低,因而下失为一种较为实用的提高横向功率器件耐压的新途径。
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