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电子束曝光机工件台激光定位误差修正数学模型
【机 构】
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航空航天部二院23研究所
【出 处】
：
第六届全国电子束离子束光子束学术年会
【发表日期】
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1991年期
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在武器装备的论证与试验中，都有一些数据需要进行处理，以便作出适当的分析或预测。处理数据或预测的方法种类繁多，通常采用的有回归分析法、德尔菲法、趋势外推法、马尔柯夫预测