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报告介绍SIMIT-CAS进期的生化检测和传感微系统研究进展和成果，包括微纳技术融合的谐振悬臂梁传感器技术、用于无线传感网节点的能量采集器和在液体中可以快速识别细菌的"-Diver"谐振微系统技术。该类技术在食品安全、公共安全、环境监测、健康医疗和智能城市等方面有巨大的市场应用潜力。
MEMS谐振传感器和谐振微系统
【摘 要】
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报告介绍SIMIT-CAS进期的生化检测和传感微系统研究进展和成果，包括微纳技术融合的谐振悬臂梁传感器技术、用于无线传感网节点的能量采集器和在液体中可以快速识别细菌的"
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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第十届中国国际半导体博览会暨高峰论坛
【发表日期】
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2012年期
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