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介绍了微机软件细分的一个应用实例——在激光干涉法小位移测量中采用微机细分，系统的结构，工作原理及软、硬件。文中还讨论了微机细分的误差以及系统设计中应注意的问题。（本刊录）
激光干涉法位移测量系统采用的微机细分装置
【摘 要】
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介绍了微机软件细分的一个应用实例——在激光干涉法小位移测量中采用微机细分，系统的结构，工作原理及软、硬件。文中还讨论了微机细分的误差以及系统设计中应注意的问题。（本刊
【机 构】
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上海机械学院仪器仪表学院
【出 处】
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全国第一届精密机械系统与元件设计学术会
【发表日期】
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1986年期
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