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水导激光微细加工依据全反射原理，由水束导引激光实现加工。研制的新型耦合装置，易于调整激光束和水束位置，耦合效率高，其特殊结构保证了形成高速、稳定、纤细、大加工长度水束。进行了水束稳定性试验和打孔、切割试验，结果表明：激光能量密度在水束截面均匀分布，在水束稳定长度内衰减很少；采用优化加工参数切割硅，不锈钢时，几乎无熔渣、徼裂纹、热影响区产生；不锈钢、硅加工效率高，电木最高，铜因高反射率难加工。