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随着工艺技术进入深亚微米时代，现代集成电路中对定时的要求变得越来越严格。时延缺陷对芯片的功能、性能和可靠性带来很大的影响，为了确保芯片的质量，非常有必要检测到它们。片内时延测量技术为芯片时廷的测试和调试提供了一种有效的手段，并且已经成为研究的热点。在本文当中，我们首先介绍了片内时延测量技术的基本概念和分类，然后介绍了几种高精度的采用数字方法实现的片内时延测量技术。最后，从时延测试向量所敏化的通路的角度，分析了片内时延测量的结果。