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本文论述了应用微电子标准样片建立集成电路测试系统计量检定装置，实现集成电路测试系统微电子量值的溯源、健全微电子量值传递体系，解决国防军工集成电路测试系统计量检定问题。
基于微电子标准样片量值传递方法研究
【摘 要】
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本文论述了应用微电子标准样片建立集成电路测试系统计量检定装置，实现集成电路测试系统微电子量值的溯源、健全微电子量值传递体系，解决国防军工集成电路测试系统计量检定问题
【机 构】
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武汉数字工程研究所，湖北，武汉430074
【出 处】
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第一届中国微电子计量与测试技术研讨会
【发表日期】
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2008年10期
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