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ＥＡＣＶＤ法（电子增强热丝法）是制备大面积金刚石薄膜的最有前途的方法之一。该文以自行设计和建立的可制备直径１００ｍｍ以上的大面积金刚石膜之ＥＡＣＶＤ装置为例，探讨和说明了这类ＥＡＣＶＤ装置的主要性能要求和设计思想。
制备大面积金刚石膜之EACVD装置的设计
【摘 要】
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ＥＡＣＶＤ法（电子增强热丝法）是制备大面积金刚石薄膜的最有前途的方法之一。该文以自行设计和建立的可制备直径１００ｍｍ以上的大面积金刚石膜之ＥＡＣＶＤ装置为例，探讨和说明了这类ＥＡＣＶＤ装置的主要性能要求和设
【机 构】
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联合大学无机材料系(成都)
【出 处】
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'96中国材料研讨会
【发表日期】
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1996年期
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