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中国电子学会第六届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集
中国电子学会第六届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集
来源 :第六届全国半导体集成电路、硅材料学术会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xueluowushengkk
【摘 要】
:
该论文集的第一部分主要介绍了半导体材料硅的制备及性质、理化分析、方法与测试、半导体工艺等方面。第二部分主要介绍了集成电路,包括双极集成电路、MOS集成电路、集成电路工艺
【出 处】
:
第六届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
:
1989年期
【关键词】
:
中国
电子学会
半导体集成电路
硅材料
学术会
双极集成电路
集成电路工艺
电力电子器件
半导体工艺
半导体材料
理化分析
传感器
文集
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测试
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该论文集的第一部分主要介绍了半导体材料硅的制备及性质、理化分析、方法与测试、半导体工艺等方面。第二部分主要介绍了集成电路,包括双极集成电路、MOS集成电路、集成电路工艺等。第三部分主要介绍了其它有关的电力电子器件、传感器等。(卢清祥摘)
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