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电子微细加工技术用超净高纯试剂的品种现已超过30种.本文仅以酸类(盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸)为例,来介绍了ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用.
ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用
【摘 要】
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电子微细加工技术用超净高纯试剂的品种现已超过30种.本文仅以酸类(盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸)为例,来介绍了ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用.
【机 构】
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北京化学试剂研究所
【出 处】
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中国感光学会第六届青年学术交流会
【发表日期】
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2002年期
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