【摘 要】
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利用溶胶-凝胶法在不同烧结温度下制备了TiO薄膜材料,并通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可见光谱(UV-VIS)等手段对所制备的材料进行了结构和光学性质的表征.XR
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春)
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利用溶胶-凝胶法在不同烧结温度下制备了TiO<,2>薄膜材料,并通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和紫外-可见光谱(UV-VIS)等手段对所制备的材料进行了结构和光学性质的表征.XRD结果表明,通过对衍射主峰强度的测定,烧结温度为350℃时,材料具有锐钛矿型结构.当烧结温度升至550-750℃时,也出现了锐钛矿型的衍射主峰.而后随着烧结温度的进一步升高至850℃,锐钛矿型TiO<,2>的衍射主峰逐渐减弱,同时出现了金红石型的衍射主峰.随着温度的升高,衍射峰越来越强,说明晶粒越来越大.从材料的AFM图中可以看出,随着烧结温度的升高,所制的TiO<,2>薄膜的晶粒越来越大.从TiO<,2>薄膜的紫外-可见光反射谱图中可以看出,各谱中的反射峰位置均出现在300-390nm范围.随着烧结温度的升高,反射峰出现红移.
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