【摘 要】
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掺铝氧化锌透明导电薄膜(AZO)具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,作为ITO的替代材料成为了当前研究的热点。本文主要介绍了AZO薄膜的晶体结构、导电机理、
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掺铝氧化锌透明导电薄膜(AZO)具有优异的光电性能且资源丰富、成本低、对环境无污染,作为ITO的替代材料成为了当前研究的热点。本文主要介绍了AZO薄膜的晶体结构、导电机理、光电性能、典型制备技术和应用现状,并对其研究前景进行了展望。
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