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CZTSSe太阳能电池的背界面接触质量在制备高性能器件中具有非常重要的作用.Mo背电极与吸收层发生化学反应和背界面的严重复合问题仍然是研究的重点.当在背电极处引入合适厚度的高功函MoO3界面层后,高功函的MoO3抑制吸收层与Mo反应,器件的微观结构发生变化,MoSe2厚度显著降低,吸收层底部孔洞明显减少.同时,吸收层与背电极能带匹配得到优化,形成高质量的背建电场,提高载流子驱动力.最终器件转换效率提升至11.37%.