【摘 要】
：
本文研究、设计了应用在波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)上的MEMS悬臂梁结构,考虑到悬臂梁自身应力的影响,通过PECVD高低频交替生长的办法改变Si3N4薄膜应力,使多层SiO2
【机 构】
：
北京工业大学电子信息与工程控制学院,北京市光电子实验室,北京,100022
论文部分内容阅读
本文研究、设计了应用在波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)上的MEMS悬臂梁结构,考虑到悬臂梁自身应力的影响,通过PECVD高低频交替生长的办法改变Si3N4薄膜应力,使多层SiO2和Si3N4薄膜之间的应力减小,实现了低应力的可动悬臂梁式顶DBR结构.我们采用光学传输矩阵法对DBR结构的多层介质膜反射谱进行了模拟计算,并与实际测量的结果相对比,得到了具有调谐能力的悬臂梁式可动顶DBR结构,并为后期制备波长可调谐垂直腔面发射激光器奠定了基础.
其他文献
在瑞士日内瓦举行的第十三届世界发明与新技术展览会上,我国展团一鸣惊人,在参展的19项展品中,有11项获奖,其中我部的两项发明分获大会颁发的金牌和银牌。北京航空学院副教
本文所介绍的音频信号处理方案是为了满足现代多声道AV前置控制功能,拥有六声道主音量控制,六声道独立音量输出均衡控制,高、中、低音三段音调控制,并整合了静音功能、3D音效
近年来,小波框架越来越引起人们的重视,原因是它有较好的时频局部化特性和位移不变性.以及更大的设计自由度.本文综述了小波框架的基本概念,性质及构造方法,并展望了它今后的
本文针对目前国内学者提出的几种利用Harris算子提取角点的算法,以理想的测试图像和复杂的实际图像进行角点定位的分析与比较研究,并改进了各算法的搜索邻域尺度.全文以仿真
本文以ADI公司的DDS器件AD9858为核心,以AD9858产生二相码为例,分析了AD9858的系统时钟频率,输出信号频率和子码宽度间的相互关系.
本文介绍了PHLIPS公司新近投放市场的P89LPC932单片机的基本结构和主要功能,并给出了利用P89LPC932的I2C的通信功能组成的小型通信控制系统,给出了主机和从机的通信程序流程
本文基于Maxwell时域有限差分(FDTD)算法,通过数值仿真和可视化技术研究并检验了连接边界条件的有效性.指出该方法在雷达目标电磁散射特性分析、计算、预估、设计和优化中具
串行总线接口模块凭借其高效的传输性能以及协议的可靠性被广泛的应用到各种嵌入式系统以及各种网络系统的基础层,随着SoC时代的到来,各种功能模块接口的系统集成已成为研究
本文详细分析了USB接口开发过程中的几个重要环节,从数据流控制的角度阐述了USB接口的设计思路和方法,对目前常用的几款USB接口芯片的方案设计进行了比较说明,并深入的探讨了
仲裁策略是路由算法的重要组成部分,波阵仲裁器具有较好的输入输出匹配能力.本文首先介绍了波阵仲裁器的基本原理,随后对这种仲裁器存在的饥饿、死锁等公平性问题进行了分析,