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该文采用X射线衍射分析和透射电镜观察研究了共溅射法制备的GaAs-SiO〈,2〉复合薄膜的结构。其结果表明:薄膜由非晶态的SiO〈,2〉和晶态的GaAs两相组成;GaAs颗粒的平均直径约为10.6nm,且较均匀地弥散在SiO〈,2〉介质中。测量了薄膜的光致发光特性,发现纳米GaAs颗粒的发光谱线位于可见光波段。其发射谱由四个峰叠加组成,峰位分别为512nm、530nm、550nm和578nm。采用量子限域理论讨论了光发射波长与颗粒直径间的关系。