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过渡金属氧化物WO3因具有优异的变色特性而倍受重视。本文详述了用溶胶凝胶法在ITO玻璃上制备氧化钛掺杂氧化钨薄膜的过程,在SEM扫描电镜下观察到薄膜厚度均一且为非晶态薄膜,,运用TG-DSC测试分析了薄膜热处理过程中的物理化学反应过程,运用XRD衍射方法和原子力显微镜测试手段对薄膜的晶体结构和微观表面形貌进行了分析。