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对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析，利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析，基于机械和电学牧场 生导出了弯曲和电压的关系，并给出阈值电的解析表式。
一种微机械光开关理论分析
【摘 要】
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对悬臂梁微机械光开关光学和电学特性进行了理论分析，利用有效折射率方法对波导传播特性进行了分析，基于机械和电学牧场 生导出了弯曲和电压的关系，并给出阈值电的解析表式。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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