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由于超薄膜的光学常数与厚度之间存在强相关性,仅采用光谱椭偏测量(SE,Spectroscopic Ellipsometry)分析来同时确定其光学常数与厚度是极其困难的。为了有效解耦这种强相关性,以准确地获取超薄膜的光学常数与厚度,我们提出了一种椭偏参数与反射率(R,Reflectivity)的协同分析方法。该方法的实质在于：利用与样品相对应的正向光学模型,对所测椭偏参数和反射率同时进行逐点拟合,从而获取超薄膜的光学常数与厚度。