【摘 要】
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在微波电子管中,广泛采用电子玻璃与金属封接件.为了深入研究玻璃与金属封接层氧化膜元素价态变化,及封接界面元素的扩散过程与封接工艺规范的相关性,采用俄歇电子能谱(Auger
【出 处】
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1994年中国硅酸盐学会电子玻璃专业委员会年会暨学术交流会
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在微波电子管中,广泛采用电子玻璃与金属封接件.为了深入研究玻璃与金属封接层氧化膜元素价态变化,及封接界面元素的扩散过程与封接工艺规范的相关性,采用俄歇电子能谱(Auger electron spectoscopy)VGMICROLABLMK I多功能表面分析仪,应用直接谱模式分析俄歇峰的精细结构,以得出元素的价态分布.研究结果得出:严格控制金属在封接前预氧化规范,可获得主体组分是低价氧化物的封接氧化膜,以保证玻璃与金属之间有良好的浸润性能,实现其真空气密性封接,从而满足高可靠微波电子管的技术要求.
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