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少子寿命作为评价硅片质量和太阳能电池生产工艺优劣的一个重要手段,其地位越来越重要。所以本文主要研究少子寿命在单晶硅太阳能电池生产中的变化和相应变化所产生的原因。影响和改善少子寿命的主要因素包括：硅片质量,制绒去损,磷铝吸杂,PECVD钝化,热退火等。
少子寿命在单晶硅太阳能电池生产中的变化研究
【摘 要】
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少子寿命作为评价硅片质量和太阳能电池生产工艺优劣的一个重要手段,其地位越来越重要。所以本文主要研究少子寿命在单晶硅太阳能电池生产中的变化和相应变化所产生的原
【机 构】
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中国科学院微电子所微电子设备技术研究室
【出 处】
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第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2012年期
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