基于SIMOX技术耐高温微型油井压力传感器研究

来源 :2004年中国机械工程学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：giaobiao123

【摘要】

：

本文针对石油化工领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅杯式芯片版图,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片,在微加工平台上制作了该芯片;对不同的用户工况设计了专门的装配结构,采用耐高温封装工艺,研究了耐高温微型压力传感器封装材料匹配与热应力消除技术,解决了内外引线的技术难点;从低成本、易操作性出发,

【作者】

：

王权丁建宁王文襄熊斌

【机构】

：

江苏大学微纳米科学技术研究中心,镇江,212013 昆山双桥传感器测试技术有限公司,苏州,2153

【出处】

：

2004年中国机械工程学会学术年会

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

高温压力传感器 SIMOX 耐高温封装补偿电路封装工艺

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