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该文分析了阴极电弧等离子沉积技术，以及有关的机理和应用。与其它物理气相沉积技术也作了定性和定量的比较。特别强调了重要的技术方面和最近的发展。
阴极电弧沉积技术及其发展
【摘 要】
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该文分析了阴极电弧等离子沉积技术，以及有关的机理和应用。与其它物理气相沉积技术也作了定性和定量的比较。特别强调了重要的技术方面和最近的发展。
【机 构】
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工业部武汉材料保护研究所
【出 处】
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中国机械工程学会第三届全国表面工程大会
【发表日期】
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1996年期
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