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该文以这几年为用户提供线宽CD为0.4um，公差要求±0.1um的掩模版，通过不断的实验，阐述了线宽为深亚微米的制作与普通线宽的制作，从数据处理、设备调整、曝光排版、版质量选材、工艺处理等各项技术难点用不同解决方法，为制备精细掩模成为了可能。为纳米技术的研究奠定了基础。
深亚微米线条的制作技术
【摘 要】
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该文以这几年为用户提供线宽CD为0.4um，公差要求±0.1um的掩模版，通过不断的实验，阐述了线宽为深亚微米的制作与普通线宽的制作，从数据处理、设备调整、曝光排版、版质量选材、工
【机 构】
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华晶电子集团公司掩模工厂
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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