SRAM重离子微束单粒子效应实验研究

来源 :中国科协2005年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ysx688
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单粒子效应是指单个带电粒子射入半导体器件,导致器件功能异常的现象.该文介绍了国内首次大规模集成电路--静态随机存取存储器(SRAM)的重离子微束单粒子效应实验研究,建立了大规模集成电路重离子微束单粒子效应实验方法,找到了国产SRAM的单粒子翻转敏感区,分析了单粒子翻转敏感区形成的机理,为器件抗单粒子效应加固设计打下了基础.
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