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台湾地区抽取地水导致地层下陷尤以西部浊水溪冲积扇地区最为严重，且该处有台湾高速铁路通过，地层下陷已经造成环境的危险及威胁，所以对於下陷严重地区持续的进行观测是有其重要与必要性。雷达干涉技术利用雷达相位资讯进行地表变动观测萃取其资讯的有用技术，但以此技术可得到的是斜距方向的相位差，并非地表垂直或是水平位移的资讯，也就是在地表位移解算上存在着方位模糊的问题。过去多用单一斜距变量来观测地表变形，本研究结合昇、降模式差分干涉雷达技术观测，且提出加权最小平方的最佳求解法，求得三维方向位移量。先以模拟方式进行讨论，再使用实际影像资料进行解算。本研究使用日本ALOS上的L波段PALSAR星载雷达对於彰化云林地区2007年2月至2010年8月进行三维方向位移量解算，求解结果指出彰云地区地变形主要为下陷情形，最大下陷速率约为每年6.7公分，并将成果与水准测量结果比较。在未来建议结合多卫星多观测方位，与长、短时间间距对地层下陷区域做长时间监测。