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应用Zemax软件进行了化学激光器小信号增益测量系统的光路设计，针对设计要求和化学激光器小信号增益测量系统的特点，制定了具体的公差原则，并用Zemax软件对光路进行了性能评价和公差分析。结果表明：该光路结构紧凑，MTF曲线接近衍射极限，光学传递函数的模在501p/mm时达到0.48，光程差像差控制在±0.5λ以内，具有较宽松的公差条件，能够较容易的实现加工和装调。