【摘 要】
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掠入射X射线反射是当X射线以掠角9(入射角的余角)入射到某一点阵平面间距为d的原子面上时，在符合上式的条件下，将在反射方向上得到因叠加而加强的衍射线。测量过程包括电压/电
【出 处】
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第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
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掠入射X射线反射是当X射线以掠角9(入射角的余角)入射到某一点阵平面间距为d的原子面上时，在符合上式的条件下，将在反射方向上得到因叠加而加强的衍射线。测量过程包括电压/电流、步进、每步时间、震动、测量对象、测量重复性等测量条件;而拟合过程包括拟合模型、拟合条件、拟合次数以及拟合曲线选择等，其中拟合模型的建立和拟合条件的选择与对测量对象了解的程度有关。本文主要研究了测量条件对测量结果的影响。测量过程中，在电流I=40mA一定时，采用U=40kV的电压进行测量较好。选择步进为0.008为将来的测量条件。实验条件选择每步停留时间2.00s较好。在上述测量方法建立过程中，还需要了解测量对象的生长过程、基本参数以及样品的状态等等信息。
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