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氮化硅薄膜作为一种重要的薄膜材料，具有优秀的光电性能、钝化性能和机械性能，在微电子、光电和材料表面改性领域都有广泛的应用前景。该文着重评述了氮化硅薄膜的主要性能和应用。
氮化硅薄膜的性能及应用
【摘 要】
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氮化硅薄膜作为一种重要的薄膜材料，具有优秀的光电性能、钝化性能和机械性能，在微电子、光电和材料表面改性领域都有广泛的应用前景。该文着重评述了氮化硅薄膜的主要性能和应
【机 构】
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大学无机非金属材料研究所(杭州)
【出 处】
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第十届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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1998年期
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