掺杂Sb对SnO2透明导电膜导电性的影响分析

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采用溶胶凝胶法制备透明导电膜,并考察了Sb的掺杂量、热处理温度对薄膜方块电阻以及对薄膜透光率的影响。在SnO2掺杂1.0%(wt)Sb能显著提高薄膜的电导性,制得的透明导电膜表面电阻率最低为P=16×10^-3Ω·cm,且薄膜的连续性、致密性好,透光率达到90%以上。
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