论文部分内容阅读
硅微电子机械系统中薄膜应力和力学特性的研究
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
：
第四届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
1994年期
其他文献
嘉兴日报社与嘉善、平湖、桐乡县市委联办嘉兴日报嘉善版、平湖版和桐乡版的工作,于1998年底成功启动。原属内刊的嘉善报、平湖报、桐乡报刊号相应注销。联办后,三家县市报
本文系统地研究了钢中硅含量的变化(0.2～3.5％)对(WMo2Cr_4VSi钢二次硬化的影响,探讨了硅影响二次硬化的机理。结果和分析表明:硅可以降低二次硬化峰值温度10～70℃,提高二次硬度1
综合实践活动是基础教育课程体系的结构性突破,是世界范围课程改革综合化的集中体现,也是我国适应社会发展需求的一种表现。小学综合实践活动具有综合性、实践性和生成性等特