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以三醋酸纤维素(TAC)为原料,通过热致凝胶工艺形成TAC湿凝胶,制备密度低于2 mg/cm3,厚度不超过50 μm的TAC薄膜.由于TAC气凝胶薄层材料厚度小、密度低,其密度等参数无法直接测试,因此,在制备TAC气凝胶薄层材料的同时,采用相同溶液、相同工艺条件,制备了圆柱形TAC气凝胶作为对比样进行密度等参数的测试.研究结果表明,采用超临界二氧化碳干燥工艺,经溶解-凝胶-超临界干燥过程,并通过模具严格控制薄膜厚度,可以在单晶硅片上得到厚度在30-50 μm之间的TAC气凝胶薄膜,其密度为1.676mg/cm3,且得到的泡沫薄膜表面孔径较大,达到微米量级.