【摘 要】
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本文对不同调制比(η=hA/hC)的晶体Cu/非晶CuZr多层膜硬度、延性和应变速率敏感性进行了系统研究.发现随调制比的减小,多层膜延性显示出先减小后增大的非单调变化趋势,并
【机 构】
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西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室
【出 处】
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第六届海内外中华青年材料科学技术研讨会暨第十五届全国青年材料科学技术研讨会
论文部分内容阅读
本文对不同调制比(η=hA/hC)的晶体Cu/非晶CuZr多层膜硬度、延性和应变速率敏感性进行了系统研究.发现随调制比的减小,多层膜延性显示出先减小后增大的非单调变化趋势,并在η～1.0处具有最小值,而应变速率敏感性由负值单调增大为正值,具有一定的可控性.薄膜拉伸变形后的微观组织显示,非晶层中发生了变形导致的晶化行为,而且这种晶化现象在小层厚的非晶层中更加明显,显示了明显的尺寸效应.由于晶化行为的尺寸依赖性,CuZr非晶单层膜表现出了与Cu晶体单层膜相反的延性和应变速率敏感性变化趋势,且应变速率敏感性表现为负值.因此,将这两种组元材料组合成为的晶体/非晶多层膜存在尺寸依赖的竞争耦合效应,这是其延性非单调变化以及应变速率敏感性大范围内可控的原因所在.此外,裂纹在组元层中萌生的竞争效应导致了多层膜断裂模式由小调制比的剪切型向大调制比的张开型转变,同时采用修正后的强化机制模型对晶体/非晶多层膜的硬度结果进行了合理解释.
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