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利用电弧等离子体蒸发法制备纳米硅颗粒。将经氢氟酸处理和未经氢氟酸处理的纳米硅颗粒，城真空气氛保护条件下加热到６００℃保温不同时间，利用射线衍射和ＴＥＭ研究其相组成和纤维结构形貌。结果表明：未经氢氟酸处理的原始纳米硅颗粒由晶体相Ｓｉ和少量的Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉及非晶ＳｉＯ〈，２〉组成，在加热处理后，生长出大量的纳米纤维，并随时间的延长，纤维长度增加、数量增多，其中的非晶ＳｉＯ〈，２〉量也增多。而经氢氟酸处理的纳米Ｓｉ颗粒由晶化相Ｓｉ和少量的Ｓｉ〈，３〉Ｎ〈，４〉组成，且经加热后不生成纤维。