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该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形电容结露敏感元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设计方法和敏感特性。
一种薄膜栅形电容结露敏感元件的研制
【摘 要】
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该文研究了一种采用微加工工艺的平面薄膜栅形电容结露敏感元件，可用于露点仪的结露控制。文中给出了元件的容值计算方法及其优化设计方法和敏感特性。
【机 构】
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清华大学自动化系(北京)
【出 处】
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第七届全国湿度与水分学术交流会暨第五届气湿敏学术交流会
【发表日期】
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1998年期
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