【摘 要】
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采用物理气相沉积(PVD)的方法,以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜,并将其作为阳极,在1％HF溶液中采用恒压(20V)阳极氧化的方法,制备出了具有纳米孔阵列结构的TiO薄膜。研究表明,
【机 构】
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天津大学化工学院应用化学系 天津 300072
【出 处】
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2007年第七届全国转化膜会议暨技术研讨会
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采用物理气相沉积(PVD)的方法,以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜,并将其作为阳极,在1％HF溶液中采用恒压(20V)阳极氧化的方法,制备出了具有纳米孔阵列结构的TiO<,2>薄膜。研究表明,形成的TiO<,2>薄膜具有多孔结构,微孔均为贯穿孔,孔形基本为圆形,孔径均匀,孔径大约为50nm。在15℃溶液中阳极氧化相同时间制备的TiO<,2>氧化膜的厚度显著大于25℃的溶液。TiO<,2>氧化膜的厚度随着阳极氧化时间的延长而增加。
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