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本文利用射频共溅射方法,在溅射气氛含氢与不舍氢条件下,在石英玻璃和抛光硅片衬底上沉积GaAs/SiO2纳米颗粒镶嵌薄膜。实验结果表明,在气氛含氢条件下制备的薄膜的室温吸收光谱存在着较明显的激子肩,其荧光发射谱也有明显的增强.我们将这些现象归因于氢对GaAs纳米颗粒膜的钝化作用。
氢钝化对GaAs/SiO2纳米颗粒镶嵌薄膜光学性质的影响
【摘 要】
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本文利用射频共溅射方法,在溅射气氛含氢与不舍氢条件下,在石英玻璃和抛光硅片衬底上沉积GaAs/SiO2纳米颗粒镶嵌薄膜。实验结果表明,在气氛含氢条件下制备的薄膜的室温吸
【机 构】
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五邑大学薄膜与纳米材料研究所,广东省,江门市,529020
【出 处】
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2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会
【发表日期】
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2005年期
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