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由于在加工过程中，污物组分复杂，真空电子元件，如CPT，CDT用销钉、阳极帽原来全部采用ODS溶剂清洗。为获得非常洁净水平的元件表面，本文介绍一种非ODS水剂清洗技术，其清洗剂主要组分包括脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺等多种表面活性剂和助刺，符合对人无毒害、对环境无污染、对臭氧层无损耗、对全球变暖影响低或无影响、不含磷酸盐及壬基苯酚乙基盐等综合要求。非ODS水剂清洗工艺的清洗能力和漂洗性能都相当于或优于原TCA清洗工艺。