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文章设计了一种双振子型直线超声电机,该电机由两个对称的利用弯曲模态作为工作模态的摇头型振子组成,每个振子包含四片夹心PZT-4压电陶瓷片。通过仿真计算出该电机工作模态为B3模态。研究确定了柔性支架安装位置。通过实验测试,该电机在小预压力情况下,电压峰峰值为311Vp-p时达到最大空载速度704mm/s;预压力为12.69N、电压峰峰值为226Vp-p时,堵转力为2N。以上数据表明该电机基本满足驱动精密直线进给系统的要求。