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在高功率固体激光器的运行过程中，元件表面的激光诱导损伤是限制装置运行通量和水平的"瓶颈"，如何提高熔石英元件的抗损伤性能以提升装置的负载能力一直备受关注。本文对比了XeF准分子激光器(波长351nm)和YAG激光器(波长351nm)的光斑分布，利用XeF准分子激光器采用光斑拼接扫描方式对酸蚀后的熔石英元件进行了紫外老化预引爆实验，测试分析了光斑拼接扫描方式与预引爆均匀性和发生连续性损伤的光系，并对预引爆的划痕和损伤点进行了修复。