【摘 要】
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将介绍一套自主设计搭建的原子层沉积系统。与现有商业化同类设备相比，该系统采用特殊设计的反应腔体、样品台、反应气路、电子控制单元和控制软件，具有四极质谱仪和石英膜
【机 构】
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中国科学院物理研究所,北京,100190
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将介绍一套自主设计搭建的原子层沉积系统。与现有商业化同类设备相比，该系统采用特殊设计的反应腔体、样品台、反应气路、电子控制单元和控制软件，具有四极质谱仪和石英膜厚检测仪等多种反应监控手段，可实现反映过程的精确控制和不同形态载体的原子层沉积生长。报告将按照系统的构成，对真空部分、电子控制单元以及控制软件进行介绍。
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